半导体力感传感器

• 全文链接
• 请求原文

关键词：

金属膜;  机器人;  三维力;  半导体;  普拉斯;  传感器;  力感; 

期刊名称：

红外技术

i s s n：

1001-8891

年卷期：

1991 年 004 期

页   码：

20

摘   要：

恩普拉斯公司最近研制出一种能够检测出三维力的方向和大小的半导体力感传感器,将于明年5月开始销售.该传感器的体积只有过去用金属膜制作的力感传感器的1/10.它适用于工作机器人及三...