分子束外延材料表面椭圆缺陷的研究进展

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作   者：

王红梅;  孔梅影; 

作者机构：

中国科学院半导体研究所; 

关键词：

椭圆缺陷;  Ga液滴;  Ga氧化物;  分子束外延;  衬底沾污; 

期刊名称：

材料研究学报

i s s n：

1005-3093

年卷期：

1997 年 04 期

页   码：

337-345

摘   要：

综述了分子束外延材料的表面缺陷──主要是椭圆缺陷──的种类、特征、起因、消除方法等，重点介绍了可能导致椭圆缺陷产生的重要因素，如Ga小液滴、Ga的氧化物及衬底沾污等，并提出相应的改进措施。