激光诱导的光热技术在半导体检测中的应用

• 全文链接
• 请求原文

作   者：

曾宏亮;  张希仁;  高椿明;  周鹰;  王占平; 

作者机构：

电子科技大学光电信息学院; 

关键词：

光热技术;  半导体特性;  热波;  光电检测; 

期刊名称：

光电子技术

基金项目：

激光诱导热波红外检测对热扩散率的研究

i s s n：

1005-488X

年卷期：

2009 年 03 期

页   码：

211-215

摘   要：

综述了近些年来国内外半导体检测的光学技术研究的最新进展。重点阐述了基于光声光热效应的半导体检测技术的最新发展动态,其中分别对光热偏转(PTD)、光热调制反射(PMTR)、光热辐射(PTR)、光生载流子辐射(PCR)进行了详细介绍,最后提出了半导体检测技术的发展方向。