光杠杆纳米微位移测量系统中的信号处理

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作   者：

吴宇;  刘晓旻;  杨国光; 

作者机构：

浙江大学现代光学仪器国家重点实验室; 

关键词：

PSD;  光杠杆;  纳米位移测量;  信号处理; 

期刊名称：

光电工程

i s s n：

1003-501X

年卷期：

2007 年 07 期

页   码：

30-34+38

摘   要：

本文提出了一种基于光杠杆原理非接触式的纳米级微位移测量系统。该系统通过光学方法对微位移量进行放大,光学放大倍数高,该系统的理论分辨率可达4nm,实际测得静态分辨率小于10nm。信号处理采用基于高精度一维PSD的信号探测电路,并且通过设计有效地抑制了噪声和干扰。实验中使用PZT作为被测物的微小位移驱动器,与电容测微仪JDC-II所测数据进行了验证比较,系统所测得的数据证明了其正确性和可行性。并且该系统受温度影响小,结构简单,便于使用MEMS技术集成和微型化。