严格耦合波收敛层数的研究
- 作者机构:
- 电子科技大学物理电子学院; 中国科学院微电子研究所;
- 关键词:
- 计算效率; 光栅; 严格耦合波分析; 分层数;
- 期刊名称:
- 中国科技论文
- 基金项目:
- i s s n:
- 2095-2783
- 年卷期:
- 2013 年 8 卷 01 期
- 页 码:
- 58-61
- 摘 要:
- 研究了梯形光栅的结构参数与分层数的关系,通过减少分层数来提高求解光栅衍射效率计算速度。采用开发的软件进行仿真模拟,得到正入射时,TE和TM的收敛层数随着顶宽和周期的增大而减小;TE在占空比小于0.4时,收敛层数随着占空比的增大而减小,之后基本保持不变;TM在占空比为0.5时所需的收敛层数最大,并呈现向两边递减的趋势。结果表明:根据这些规律适当减少分层数可有效提高计算效率。
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