一种适用无源RFID的集成加速度传感器设计

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作   者：

陈宏;  邓芳明;  何怡刚;  吴翔; 

作者机构：

华东交通大学电子与电气学院;  合肥工业大学电气与自动化工程学院;  华东交通大学轨道交通学院; 

关键词：

加速度传感器;  CMOS工艺;  接口电路;  射频识别标签; 

期刊名称：

传感器与微系统

基金项目：

复杂电网络分析、综合与诊断
城市等级性道路网络与公共汽车交通网络协同优化方法研究

i s s n：

1000-9787

年卷期：

2015 年 10 期

页   码：

86-89

摘   要：

针对射频识别(RFID)与无线传感器网络(WSNs)融合研究的需要,基于0.35μm CMOS工艺设计了一种集成加速度传感器。传感器单元采用从单晶硅衬底的背面进行深反应离子刻蚀工艺,背面刻蚀完成后再正面对金属和介质复合层进行各向异性刻蚀。集成电容式传感器接口电路基于锁相环原理,将传感器信号转移到频率域处理,避免了高功耗的A/D转换器的使用,直接完成电容/数字转换。后期测试结果显示:所设计的集成加速度传感器线性度好,稳定性高,功耗低,适合无源RFID及其它超低功耗应用设计。