半导体设备预测性维修技术分析

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作   者：

张博焱;  豆立博;  伏亮; 

作者机构：

西安电力电子技术研究所元件部; 

关键词：

装配线;  维修;  设备;  故障; 

期刊名称：

中国战略新兴产业

i s s n：

年卷期：

2019 年 028 期

页   码：

219

摘   要：

多年的研究和分析表明,预测性维修技术的维修领域的研究在近几年的热点.本文件与预测性维护的技术开始时,首先以后分析了故障维修,预防性维护和预测性维护,然后分析了它们的相似性和差异以及它们各自的优点和缺点.近年来,已主要使用组装线制造的半导体器件.因此,在流水线的生产过程中,所提供的计算机有问题或故障,该总装线将中断整个生产过程的中断,造成经济损失的企业或公司.