硅片真空传输平台前端真空室的研制

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作   者：

李学威;  鲍君善;  路平;  何书龙; 

作者机构：

沈阳新松机器人自动化股份有限公司; 

关键词：

真空传输;  有限元;  硅片; 

期刊名称：

组合机床与自动化加工技术

基金项目：

i s s n：

1001-2265

年卷期：

2017 年 09 期

页   码：

122-124+128

摘   要：

文章设计并研制了8英寸硅片真空传输平台,介绍了该传输平台的整体结构,并对关键模块前端传输腔室VCE中的CTA传输手托盘系统进行了选型设计、机构分析。垂直升降系统采用丝杠传动,CTA传输手采用平面四连杆机构增大刚度。对传输手主动杆强度和变形量进行了有限元仿真分析。经过重复运行精度实验测试,整个平台达到了硅片制造要求。