二次压电效应研究及利用其原理设计微驱动器探析

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作   者：

史丽萍;  孙宝元;  钱敏; 

作者机构：

大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室; 

关键词：

石英;  二次压电效应;  边界条件;  微驱动; 

期刊名称：

哈尔滨工业大学学报

基金项目：

石英晶体扭转效应应用基础研究及其新型传感执行器的开发

i s s n：

0367-6234

年卷期：

2005 年 11 期

页   码：

1522-1525

摘   要：

目前,对于压电效应理论与应用的研究,主要集中在一次压电效应,而二次压电效应的研究尚处于初级阶段.应用四类压电方程推导了二次压电效应理论公式,并使用压电石英晶体从能量的角度验证了该公式的正确性.之后,以22片石英晶片构成石英叠堆,将其作为被测晶组进行了二次压电效应的实验研究.理论与实验均表明,在石英叠堆上施加外力,石英晶体从正压电效应开始,由二次逆压电效应所产生的形变与施加在其上面的外力有良好的线性关系,并依此提出了利用二次压电效应原理设计微驱动系统的观点.