由氧化层厚度估算化学反应扩散掺杂量的研究

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作   者：

魏晋云; 

作者机构：

云南师范大学太阳能研究所; 

关键词：

太阳电池，氧化层，厚度，估算，掺杂量; 

期刊名称：

太阳能学报

i s s n：

0254-0096

年卷期：

1998 年 03 期

页   码：

摘   要：

在化学反应扩散制备ｐ／ｎ结的过程中，伴随生成的ＳｉＯ２薄膜的厚度与扩散进入硅中的掺杂量有确定的关系（ＱＳｉ＝ｃｄ），由此可由氧化层厚度简便地估算扩散掺杂量。