压电基片上集成微通道数字微流体微混合器研究

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作   者：

章安良;  叶丽军;  费景臣; 

作者机构：

宁波大学信息学院; 

关键词：

数字微流体;  声表面波;  微混合器;  微通道; 

期刊名称：

固体电子学研究与进展

基金项目：

i s s n：

1000-3819

年卷期：

2010 年 03 期

页   码：

377-381

摘   要：

微流体在压电基片上输运往往偏离声表面波传播方向,尤其是当压电基片表面疏水层不很均匀时,给微流体诸如混合等操作带来不便。在1280旋转Y切割X传播方向的LiNbO3基片上研制了集成有聚二甲基硅氧烷为材料T型微通道的微混合器,压电基片上采用光刻工艺制作相互垂直叉指换能器及反射栅。待混合的两微流体采用微量进样器分别进样到声路径微通道中,依次在两叉指换能器上加RF电信号,它激发的声表面波驱动其声路径上微通道中的微流体沿微通道输运、合并,并快速混合。对2μl水-2μl蓝色染料微流体和2μl甘油-2μl蓝色染料微流体进行混合实验,结果表明,声表面波的作用可以提高微通道中微流体的混合速度,且混合程度更高。