短波红外InGaAs焦平面研究进展

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作   者：

李雪;  龚海梅;  邵秀梅;  李淘;  黄松垒;  马英杰;  杨波;  朱宪亮;  顾溢;  方家熊; 

作者机构：

中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室; 

关键词：

焦平面;  雪崩倍增;  铟镓砷;  短波红外;  偏振探测;  暗电流; 

期刊名称：

红外与毫米波学报

i s s n：

1001-9014

年卷期：

2022 年 41 卷 001 期

页   码：

129-138

摘   要：

围绕新一代遥感探测仪器应用需求,中国科学院上海技术物理研究所在短波红外InGaAs焦平面探测器领域取得了一系列进展.通过低缺陷外延材料、焦平面芯片制备工艺和低噪声读出电路技术研究,研制实现了最大规模达2560×2048元的10μm中心距1~1.7μm InGaAs焦平面探测器,峰值探测率优于1.0×1013 cmHz1/2/W,有效像素率达到99.7%;研制实现了1280×1024元15μm中心距的1~2.5μm延伸波长探测器,峰值探测率优于5.0×1011 cmHz1/2/W;发展了新体制新结构器件,研制了单片集成4向偏振功能的160×128元偏振焦平面探测器,消光比优于37:1;研制了64×64元盖革雪崩焦平面探测器,时间分辨率达到0.8 ns.