基于MEMS技术的仿生纤毛风速传感器的设计和仿真

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作   者：

卢建勋;  周南彦;  刘武; 

作者机构：

上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室; 

关键词：

流速传感器;  纤毛;  差分电容;  MEMS;  仿真; 

期刊名称：

半导体光电

i s s n：

年卷期：

2022 年 006 期

页   码：

1075-1079

摘   要：

设计了一种可以实现二维风速测量的电容式纤毛传感器，其特点为通过差分电容检测流速，传感器运动结构所对应的背硅被完全刻蚀。采用有限元分析软件，通过流体-固体-静电场的多物理场仿真，分析得到了传感器的差分电容与风速的变化关系。结合电容传感器AD7746的理论精度，计算得出传感器的风速灵敏度为0.25 mm/s。此外，设计了基于SOI硅片的传感器微加工制备的工艺流程。