Fe₂O₃-In₂O₃复合薄膜光波导传感元件检测二甲苯气体的研究

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作   者：

姑丽各娜·买买提依明;  阿布力孜·伊米提; 

作者机构：

喀什师范学院化学与环境科学系;  新疆大学化学化工学院; 

关键词：

二甲苯5;  气体传感器1;  玻璃光波导2;  Fe2O3-In2O3复合薄膜4;  溶胶凝胶法3; 

期刊名称：

传感技术学报

基金项目：

金属氧化物薄膜光波导传感元件及其对氯苯等二恶英前驱物气敏性的研究

i s s n：

1004-1699

年卷期：

2013 年 26 卷 004 期

页   码：

462-466

摘   要：

采用溶胶-凝胶法(sol-gel)制备出氧化铁-氧化铟复合材料,利用提拉法将复合材料固定在锡掺杂玻璃光波导表面研究出能够检测二甲苯气体的Fe2O3-In2O3复合薄膜/锡掺杂玻璃光波导气敏元件.将气敏元件固定在气体检测系统中对挥发性有机气体进行检测.实验结果表明,Fe2O3-In2O3复合薄膜/锡掺杂玻璃光波导气敏元件对二甲苯气体具有较好的响应,其响应浓度范围为1*10-3~1*10-5(V/V).在常温下该敏感元件对于浓度为1*10-5(V/V)的二甲苯蒸汽有比较明显响应,其响应和恢复时间分别为5s和20s.Fe2O3-In2O3复合薄膜/锡掺杂玻璃光波导气敏元件具有灵敏度高、响应速度快、制作工艺简单和可逆性好等特点.