WEISSLICHTINTERFEROMETER FUR INDUSTRIE UND AUTOMATION: ABSTAND UND DICKE GLEICHZEITIG MESSEN

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作   者：

Alexander Streicher; 

作者机构：

Micro-Epsilon Messtechnik GmbH & Co. KG; 

期刊名称：

Industrielle Automation

i s s n：

0936-692X

年卷期：

2023 年 35 卷 4 期

页   码：

10-12

页   码：

摘   要：

Die Dicke von sehr dunnen Schichten zu vermessen ist in vielen industriellen Anwendungen eine grosse Herausforderung. Fur optisch transparente Schichten, wie dunne Glaser oder Folien, ist die Interferometrie eine gut geeignete Methode, die beruhrungslos mit Genauigkeiten bis in den Nanometerbereich arbeiten kann. Wir stellen Ihnen neue Systeme vor, die mehrere Schichten erfassen konnen und dabei gleichzeitig noch den Abstand messen.