基于FIB-SEM双束系统制备TEM原位加热样品

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作   者：

林晓冬;  梁雪;  李毅丰;  陈文霞;  鲁波;  李强; 

作者机构：

上海大学材料科学与工程学院; 

关键词：

低电压清扫;  聚焦离子束-扫描电子显微镜双束系统;  样品制备;  原位加热; 

期刊名称：

实验科学与技术

i s s n：

1672-4550

年卷期：

2024 年 22 卷 005 期

页   码：

1-6,27

摘   要：

聚焦离子束-扫描电子显微镜(FIB-SEM)双束系统因具有定位精准、加工精度高等优点,被广泛用于微纳尺度样品的高质量制备,如定点截面加工、纳米图形加工、透射电子显微镜(TEM)和三维原子探针样品等.然而,随着TEM原位表征技术的发展,对样品的制备提出了更高的要求.其中,TEM原位加热样品由于受加热芯片几何形状的限制,在样品的提取、转移和减薄等工序上具有较高的技术难度.利用FIB-SEM双束系统,在传统TEM样品制备工艺基础上,通过合理改进制备流程和参数,调整样品提取和减薄顺序,并配合低电压清扫工艺,成功制备了可用于原位加热和表征的TEM样品.