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デュアル読取スキャナを用いる撮像方法および装置
专利权人:
ヘルムホルツ・ツェントルム・ミュンヒェン・ドイチェス・フォルシュンクスツェントルム・フューア・ゲズントハイト・ウント・ウムベルト(ゲーエムベーハー)
发明人:
ティシェンコ、オレグ,ホエッシェン、クリストフ,シュ、ユアン
申请号:
JP2008536991
公开号:
JP4991738B2
申请日:
2006.10.25
申请国别(地区):
JP
年份:
2012
代理人:
摘要:
The imaging method for imaging inspection area of ​​an object (1) and (2), the steps of generating an energy input beam (3) and (10) an energy beam source, the energy input beam components of a plurality of energy input beam ( and a step of irradiating the region of investigation along the plurality of projection directions by using a 4), the energy input beam components of the plurality is formed using (40) the frame mask, the energy input beam the frame mask (10) is disposed between the object and has a plurality of mask windows (41). Furthermore, the method comprising the steps of: measuring a first integrated attenuation values ​​of energy input beam components with the (21) outer detector device being arranged outside the frame mask, the frame mask detector device being arranged on the inner surface of the frame mask ( and includes a step of measuring the second integrated attenuation values ​​of energy input beam components with a 24), and a step of reconstructing an image of the inspection area based on the second integrated attenuation values ​​and the first. Furthermore, an imaging device for imaging a region of an object (100) is disclosed.対象物(1)の検査領域(2)を撮像するための撮像方法は、エネルギービーム源(10)によりエネルギー入力ビーム(3)を生成する工程と、エネルギー入力ビームの複数のエネルギー入力ビーム成分(4)を用いて複数の投射方向に沿って検査領域を照射する工程とを備え、複数のエネルギー入力ビーム成分はフレームマスク(40)を用いて形成され、このフレームマスクは、エネルギー入力ビーム(10)と対象物との間に配置され、複数のフレームマスク窓(41)を有している。上記方法はさらに、フレームマスクの外側に配置された外部検出器デバイス(21)を用いてエネルギー入力ビーム成分の第1積分減衰値を測定する工程と、フレームマスクの内面に配置されたフレームマスク検出器デバイス(24)を用いてエネルギー入力ビーム成分の第2積分減衰値を測定する工程と、第1および第2積分減衰値に基づいて検査領域の画像を再構築する工程とを備えている。さらに、対象物の検査領域を撮像する撮像装置(100)が開示される。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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