Für eine hochwertige Röntgenbildgebung ist ein Röntgendetektor mit einer aktiven Matrix aus Pixelelementen zur Detektion einer Röntgenstrahlung vorgesehen, wobei jedes Pixelelement eine Szintillatorschicht zur Umwandlung von Röntgenstrahlung in Licht und eine mittels CMOS-Technologie hergestellte Photodiode zur Umwandlung von Licht in ein elektrisches Messsignal aufweist, wobei die Pixelelemente auf einem Siliziumsubstrat angeordnet sind und zwischen dem Siliziumsubstrat und der Photodiode eine BOX(buried oxide)-Schicht angeordnet ist.For a high-quality commonly is an x-ray detector with an active matrix of pixel elements for the detection of x-rays is provided, wherein each pixel element a scintillator layer for the conversion of x-rays into light and a photodiode that is produced by means of cmos - technology for the conversion of light into an electrical measurement signal, wherein the pixel elements are arranged on a silicon substrate and between the silicon substrate and of the photodiode is a box (buried oxides) - layer is arranged.
