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ラップ盤と砥石表面の平面度・平坦度修正方法
- 专利权人:
- 株式会社ミズホ
- 发明人:
- 尾倉 秀一,沢下 雅則,永橋 潤司,中澤 稔雄,進藤 勉
- 申请号：
- JP20150199062
- 公开号：
- JP2017071017(A)
- 申请日:
- 2015.10.07
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】ダイヤモンド粒子を含有した固定砥粒砥石が電解研磨による表面の修正ができないものである場合にもその砥石の表面の平面度・平坦度を精度良く修正することを可能にしたラップ盤と砥石表面の平面度・平坦度修正方法を提供することを課題としている。【解決手段】ラップ盤１に、ダイヤモンド砥粒含有の固定砥粒砥石２を備えさせ、さらに、このラップ盤１に対して、ロータリーダイヤモンドドレッサー砥石１２と、その砥石を高速回転させ、なおかつ、切り込みと送りをかける駆動装置１３を有するフェーシング装置１０と、前記固定砥粒砥石の表面の精度を検出するセンサと、そのセンサからの信号に基づいて駆動装置１３をフィードバック制御する制御装置１８を含ませた。【選択図】図１
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
