Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
发明人:
Christin Bechtel,Jens Knobbe
申请号：
DE102013222349
公开号：
DE102013222349B3
申请日:
2013.11.04
申请国别(地区):
DE
年份:
2015
代理人:
摘要：
Die Erfindung beschreibt eine Vorrichtung zur Erfassung einer von einem Material zurückgeworfenen Strahlung. Die Vorrichtung umfasst eine Separationseinheit, die ausgebildet ist, um die von dem Material zurückgeworfene Strahlung in einen ersten und einen zweiten Strahlungsteil zu separieren. Eine erste Detektionseinheit der Vorrichtung ist ausgebildet, um eine Hellfeldaufnahme und eine Dunkelfeldaufnahme basierend auf dem ersten Strahlungsteil zu erfassen. Eine zweite Detektionseinheit der Vorrichtung ist ausgebildet, um den ersten Strahlungsteil konfokal mit einer das Material beleuchtenden Beleuchtungsstrahlung zu erfassen.The invention describes a device for detecting a radiation reflected from a material. The device comprises a separation unit, which is formed by the material of the radiation reflected back into a first and a second radiation part, to separate. A first detection unit of the device is embodied, in order to receive a bright field and a dark field receiving based on the first radiation part to detect. A second detection unit of the device is designed so as to the first radiation part confocally, with a the material be illuminated to detect the illuminating radiation.
