超声波探头
- 专利权人:
- 株式会社日立医疗器械
- 发明人:
- 佐光晓史,竹中智子,石田一成
- 申请号:
- CN201280004853.1
- 公开号:
- CN103298410B
- 申请日:
- 2012.01.05
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2015
- 代理人:
- 摘要:
- 本发明提供一种超声波探头,具备将超声波与电信号相互转换的CMUT元件(13)、在表面形成多个CMUT元件(13)的半导体基板(15)、设在CMUT元件(13)的表面侧的声透镜(3)、以及设在半导体基板(15)的背面侧的衬垫层(5),衬垫层(5)由与半导体基板接触的第一衬垫层(27)、以及设在衬垫层(27)的背面侧的第二衬垫层(29)形成,第一衬垫层(27)根据半导体基板(15)的板厚设定声阻抗,衬垫层(29)由能使透过衬垫层(27)的超声波衰减的衰减材料形成,声阻抗与衬垫层(27)的声阻抗一致地设定,从而抑制反射回波的多重反射。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心