光学素子の温度制御装置
- 专利权人:
- カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
- 发明人:
- マルクス ハウフ
- 申请号：
- JP20160152464
- 公开号：
- JP2017021350(A)
- 申请日:
- 2016.08.03
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】真空雰囲気に設けられた光学素子の温度を制御し、特にＥＵＶマイクロリソグラフィ装置の光学素子に用いて光学系の安定した性能をもたらす装置を提供する。【解決手段】光学素子１７から離間して配置されており、放射熱伝達によって光学素子を冷却するための冷却部２０を備え、制御器２７は放射冷却部２０の温度を制御するための役割を果たす。さらに光学素子１７を加熱するための加熱部２２を備え、加熱部２２の温度を制御するために制御器２７に接続する温度制御装置１４を有す。【選択図】図２
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
