光声测量装置
- 专利权人:
- 佳能株式会社
- 发明人:
- 西原裕,福谷和彦,中嶌隆夫
- 申请号：
- CN201210399072.9
- 公开号：
- CN102940480B
- 申请日:
- 2009.07.09
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2015
- 代理人:
- 摘要：
- 一种能够以高精度测量吸收体的位置和尺寸的测量装置，该测量装置包括：用于发射脉冲光束的光源单元；用于将由光源单元发射的脉冲光束引导到检查对象的内部的照明光学单元；和用于检测由脉冲光束产生的光声信号的声学信号检测单元，其中，照明光学单元包含被相对地配置为使得检查对象被来自其两侧的脉冲光束照射的第一照明光学单元和第二照明光学单元，并且，声学信号检测单元被设置为使得声学信号检测单元的检测表面位于与第一照明光学单元和第二照明光学单元用脉冲光束照射的检查对象的照射表面中的一个表面那侧相同的侧。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
