sterilization method of the present invention, comprising the steps of preparing a treatment chamber - Placing the goods in the treatment chamber - Confined to (sealing) step the treatment chamber - During the sterilization chamber is sealed, the equilibrium crystallized (equalizing) phase temperature of the goods and the sterile air (sterilization atmosphere) - Applying (applying) step a vacuum of a preselected vacuum pressure (vacuum pressure) in the sterilization chamber - Supplying the water vapor to the sterilization chamber under vacuum - Ozone in the sterilization chamber, comprising: supplying a gas-containing - Maintaining in a state sealing the sterilization chamber for a preselected treatment period And - (release) phase to release the vacuum in the sterilization chamber, comprising a, thereby lowering the boiling temperature of water in the sterilization chamber below the temperature in the sterilization chamber, the vacuum pressure is used. By performing the above temperature during the equilibration step the chamber is closed, prevents during the later step of supplying water vapor to the chamber the water is locally condensed.본 발명의 살균 방법은, - 하나의 살균 챔버를 준비하는 단계 - 상기 살균 챔버에 물품을 놓는 단계 - 상기 살균 챔버를 밀폐시키는(sealing) 단계 - 상기 살균 챔버가 밀폐된 동안, 상기 물품과 살균 공기(sterilization atmosphere)의 온도를 평형화시키는(equalizing) 단계 - 상기 살균 챔버에 미리 선택된 진공 압력(vacuum pressure)의 진공을 가하는(applying) 단계 - 진공 하의 상기 살균 챔버에 수증기를 공급하는 단계 - 상기 살균 챔버에 오존-함유 가스를 공급하는 단계 - 미리 선택된 처리 기간 동안 상기 살균 챔버를 밀폐된 상태로 유지하는 단계 및 - 상기 살균 챔버내의 진공을 해제하는(release) 단계를 포함하며, 그로써 상기 살균 챔버내의 물의 비등 온도를 상기 살균 챔버내의 온도 아래로 낮추는, 진공 압력이 사용된다. 상기 챔버가 밀폐된 동안에 상기 온도 평형화 단계를 수행하여, 수증기를 상기 챔버로 공급하는 그 이후의 단계 동안에 물이 국부적으로 응축되는 것을 막는다.
