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Test device and method for measuring the homogeneity of an optical element
专利权人:
Carl Zeiss Meditec AG
发明人:
Böhme, Beate,Beate Böhme
申请号:
DE102019204578
公开号:
DE102019204578A1
申请日:
2019.04.01
申请国别(地区):
DE
年份:
2020
代理人:
摘要:
Die Erfindung betrifft eine Prüfvorrichtung (1) zur Vermessung der Homogenität eines optischen Elements (10) in einem Strahlengang (5) der Prüfvorrichtung, die ein Interferometer (2) enthält, das eine monochromatisch Lichtquelle (3), ein anpassbares Objektiv (6), eine Referenzfläche (7), die einer Oberfläche des zu prüfenden optischen Elements oder einer Interferometrie-Oberfläche (16) zugeordnet ist, und eine Analyseeinheit (8) für die Interferenz der Wellenfronten des von der Referenzfläche (7) und der zugehörigen Oberfläche des zu prüfenden optischen Elements oder der Interferometrie-Oberfläche reflektierten Lichts umfasst. Die Erfindung betrifft weiterhin ein entsprechendes Verfahren.Ihre Aufgabe ist es, eine Prüfvorrichtung und ein Verfahren zur hochpräzisen Vermessung der Homogenität eines optischen Elements - nicht nur einzelner Flächen sondern der Gesamtheit des optischen Elements - bereitzustellen, das insbesondere auch für die hochpräzise Vermessung von Kunststoff-Linsen bzw. anderen Spritzguss-Komponenten für die refraktive Augen-Laserchirurgie geeignet ist.Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Referenzfläche die der der Prüfvorrichtung abgewandten Oberfläche (11) des optischen Elements oder einer Interferometrie-Oberfläche im Strahlengang hinter dem zu prüfenden optischen Element zugeordnet ist, bevorzugt unter Zuhilfenahme eines Kompensationselements (9) zur Kompensation der monochromatischen Aberration.The invention relates to a test device (1) for measuring the homogeneity of an optical element (10) in a beam path (5) of the test device, which contains an interferometer (2), a monochromatic light source (3), an adjustable lens (6), a reference surface (7) which is assigned to a surface of the optical element to be tested or an interferometric surface (16), and an analysis unit (8) for the interference of the wavefronts of the reference surface (7) and the associated surface of the to be tested optical element or the interferometric surface includes ref
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/
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