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LIGHT ULTRASONIC MEASURING DEVICE, METHOD, PROGRAM, RECORDING MEDIUM
专利权人:
ADVANTEST CORP;株式会社アドバンテスト
发明人:
IDA TAIICHIRO,伊田 泰一郎
申请号:
JP2017234813
公开号:
JP2019098049A
申请日:
2017.12.07
申请国别(地区):
JP
年份:
2019
代理人:
摘要:
To measure by using an ultrasonic generation part and a plurality of pulse light sources.SOLUTION: A light ultrasonic measuring device 1 comprises: an ultrasonic pulse output part 32 for outputting an ultrasonic pulse P3; a plurality of pulse light output parts 30a, 30b for outputting pulse lights P1, P2 having a different wavelength; a pulse output time point control part 20 for controlling time points when the ultrasonic pulse P3 and a plurality of pulse lights P1, P2 are output, respectively, so that, output times of the ultrasonic pulse P3 and the plurality of pulse lights P1, P2 do not overlap each other; and a measuring part 40 for measuring a measurement object 2 based on photoacoustic waves AW1, AW2 generated on the measurement object 2 by a reflection wave US which is obtained by reflection of the ultrasonic pulse P3 on the measurement object 2 and the pulse lights P1, P2.SELECTED DRAWING: Figure 1【課題】超音波発生部および複数のパルス光源を用いて測定する。【解決手段】光超音波測定装置1は、超音波パルスP3を出力する超音波パルス出力部32と、波長が異なるパルス光P1、P2を出力する複数のパルス光出力部30a、30bと、超音波パルスP3および複数のパルス光P1、P2の各々が出力されている時間が互いに重複しないように、超音波パルスP3および複数のパルス光P1、P2の各々が出力される時点を制御するパルス出力時点制御部20と、超音波パルスP3が測定対象2において反射された反射波USおよびパルス光P1、P2により測定対象2において発生した光音響波AW1、AW2に基づき測定対象2を測定する測定部40とを備える。【選択図】図1
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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