一种可贴附柔性压力传感器及其制备方法
- 专利权人:
- 苏州能斯达电子科技有限公司
- 发明人:
- 张珽,熊作平
- 申请号:
- CN201410471871.1
- 公开号:
- CN104257367A
- 申请日:
- 2014.09.16
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2015
- 代理人:
- 摘要:
- 本发明公开了一种可贴附柔性压力传感器,其特征在于,包括:柔性衬底、敏感层、电极层和柔性保护层,所述敏感层形成于柔性衬底表面且具有三维孔状结构,所述电极层包括至少两条电极,所述电极从敏感层表面引出,所述柔性保护层形成于敏感层表面和电极层位于敏感层表面的部分。本发明还公开了一种可贴附柔性压力传感器的制备方法。本发明的方法具有原料廉价、工艺简单、操作方便和适合大规模工业化生产的优点,本发明的敏感层具有三维孔状结构,实现材料中气-固两相的存在,具有较高的灵敏度;本发明的传感器轻薄柔软,可以被加工成多种形状,具有可穿戴、可贴附的优点。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心