PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a check valve structure for suppressing the deformation of a thin film check valve.SOLUTION: A discharge valve 30 has the check valve structure for permitting the flow of gas from a pump chamber toward a space 35 and prohibiting the flow in the reverse direction. The discharge valve 30 consists of an elastic film body 31 covering a communication hole 33 at the side of the space 35 for preventing the back flow of the gas, and an elastic member 32 holding the elastic film body 31. The elastic film body 31 has a surface 31a to be opposed to the communication hole 33 in the state of assembling the discharge valve 30. The elastic member 32 has a surface 32a to be closely attached to a face 16a of a valve housing 16 in the state of assembling the discharge valve 30. In the state of disassembling the discharge valve 30, the elastic film body 31 is protruded downward from the space 35 and the surface 31a of the elastic film body 31 is located on the lower side of the surface 32a of the elastic member 32.COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT【課題】薄膜状の逆止弁の変形を抑制できる逆止弁構造を提供する。【解決手段】吐出弁30は、ポンプ室から空間35へ向かう気体の流れを許容するとともに、その逆方向への流れを禁止する、逆止弁構造を有する。吐出弁30は、連通孔33の空間35側を被覆して気体の逆流を妨げる弾性膜体31と、弾性膜体31を保持する弾性部材32とを備える。弾性膜体31は、吐出弁30を組み立てた状態で連通孔33と対向する表面31aを有する。弾性部材32は、吐出弁30を組み立てた状態でバルブハウジング16の面16aに密着する、表面32aを有する。吐出弁30を分解した状態で、空間35から弾性膜体31が下方へ向かって突出して、弾性膜体31の表面31aは弾性部材32の表面32aよりも下側に位置している。【選択図】図6
