Disclosed is a plasma sterilizer which produces active species using a plurality of rod-shaped electrodes and a dielectric tube. The present invention relates to a method for manufacturing a semiconductor device, which comprises contacting a reactive oxygen species (ROS) or a reactive nitrogen species (RNS) generated in a dielectric portion having a plurality of dielectric tubes having a dielectric on one surface thereof with water vapor to form an OH radical , NO radicals, NO 2 radicals, H 2 O 2 , NO 2- and NO 3- can be produced, shortening the disinfecting time and reducing the manufacturing cost.복 수개의 봉형 전극과 유전관을 이용하여 활성종을 생산하는 플라즈마 살균기를 개시한다. 본 발명은 일면에 유전체가 형성되는 복 수개의 유전관을 구비하는 유전체부에서 발생된 산소 활성종(Reactive Oxygen Species:ROS) 또는 질소 활성종(Reactive Nitrogen Species: RNS)을 수증기에 접촉시켜 OH 라디칼, NO 라디칼, NO2 라디칼, H2O2, NO2- 및 NO3- 중 적어도 하나의 활성종을 생산할 수 있어 소독시간을 단축하고, 제조 비용을 절감할 수 있다.
