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초음파 트랜스듀서의 셀, 채널 및 상기 채널을 포함하는 초음파 트랜스듀서
专利权人:
SAMSUNG ELECTRONICS CO.; LTD.
发明人:
CHO, KYUNG IL,조경일,KIM, DONG WOOK,김동욱
申请号:
KR1020100109258
公开号:
KR1020120047599A
申请日:
2010.11.04
申请国别(地区):
KR
年份:
2012
代理人:
摘要:
PURPOSE: A cell and a channel of an ultrasonic transducer and an ultrasonic transducer including a channel are provided to increase the effective displacement of a thin film in an ultrasonic transducer by including more ultrasonic transducer cell for transmission or reception.CONSTITUTION: An ultrasonic transducer(100) comprises a substrate, a wall(20) prepared on the edge of the substrate, a plurality of posts(30) separated at a regular interval on the substrate, a thin film(40) prepared on the wall and the plurality of posts, and cavity prepared between the substrate and a thin film. The wall and the plurality of posts are integrally formed with the substrate. The wall and the post are formed on the substrate by etching the substrate. The wall is shared with adjacent ultrasonic transducers if a plurality of ultrasonic transducers is arranged in array.COPYRIGHT KIPO 2012개시된 초음파 트랜스듀서는 기판의 가장자리 상에 마련된 벽, 기판 상에 일정한 간격으로 이격되어 마련된 복수 개의 기둥, 벽과 복수 개의 기둥 상에 마련된 박막 및 기판과 박막 사이에 마련된 캐비티를 포함할 수 있다. 그리고, 기판은 바닥부와 돌출부를 포함할 수 있다.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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