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用于阻挡式等离子体的电极组件
专利权人:
奇诺格有限责任公司
发明人:
D·万德克,M·哈恩尔,M·科普,L·特鲁特威格,K-O·施托克
申请号:
CN201380041644.9
公开号:
CN104521330A
申请日:
2013.07.18
申请国别(地区):
CN
年份:
2015
代理人:
摘要:
一种用于形成电介质阻挡式等离子体的电极组件,所述等离子体在电极组件的一作用面(10)和一作为对电极起作用的表面之间形成,该电极组件具有:一柔性的平面电极(8),其能够与一高电压源(28)连接;一平面的、柔性的并且形成所述作用面(10)的电介质(9),所述电介质与所述平面电极(8)连接成一电极元件(7)并且所述电介质朝向待处理的表面地完全遮盖所述电极(8),所述电极组件通过一表面弹性的按压器具(4)具有对于不规则表面的改善的可适配性,所述按压器具用于如此地在所述电极元件(7)的远离所述表面的背侧上按压,使得所述电极元件(7)能够在局部变形的情况下自行适配所述表面的不规则性。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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