用于测量和控制带电粒子笔形射束的多分辨率检测器
- 专利权人:
- 皮瑞米德技术咨询公司
- 发明人:
- R·P·布瓦索,A·达特,J·戈登,K·奥塔
- 申请号:
- CN201610105709.7
- 公开号:
- CN105920744B
- 申请日:
- 2016.25.02
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2019
- 代理人:
- 摘要:
- 一种多分辨率检测器包括高分辨率像素化电极和低分辨率像素化电极。高分辨率像素化电极包括第一像素的多个子阵列。每个子阵列中的每个相对位置处的每个分别的第一像素彼此并联电连接。低分辨率像素化电极包括多个第二像素。控制系统接收作为输入的来自每个像素化检测器的输出。控制系统使用这些输入来以高分辨率像素化电极的分辨率确定入射的带电粒子笔形射束的物理位置和横向强度分布。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心