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回折光学素子、光照射装置
- 专利权人:
- 大日本印刷株式会社
- 发明人:
- 宮崎 祐一,登山 伸人,吉岡 英範
- 申请号：
- JP20170141541
- 公开号：
- JP2018022151(A)
- 申请日:
- 2017.07.21
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】光の利用効率が高く、また、光の入射角がずれた場合であっても、回折光への影響が少なく安定して所望の回折光を得ることができ、さらに、回折光のムラが少ない回折光学素子、光照射装置を提供する。【解決手段】回折光学素子１０は、光を整形する回折光学素子であって、断面形状において複数の凸部１１ａが並んで配置されている高屈折率部１１と、高屈折率部１１よりも屈折率が低く、少なくとも凸部１１ａの間に形成されている凹部１２を含む低屈折率部１４と、を有する回折層１５を備え、凸部１１ａは、その側面形状の少なくとも一方側に、高さの異なる複数の段部（１１ａ−１，１１ａ−２，１１ａ−３，１１ａ−４）を備えた多段階形状を有しており、凸部１１ａの側面形状は、回折層１５を含む平面に対して傾いた傾斜部（１
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
