シュモル、ティルマン,タムリンソン、アレクサンドル アール．,エベレット、マシュー ジェイ．,シェモンスキ、ネイサン,TILMAN SCHMOLL,ALEXANDRE R TUMLINSON,MATTHEW J EVERETT,NATHAN SHEMONSKI
申请号：
JP2020014604
公开号：
JP2020096866A
申请日:
2020.01.31
申请国别(地区):
JP
年份:
2020
代理人:
摘要：
An improved interferometric imaging system and method are provided. One embodiment is a partial field of view frequency domain interferometric imaging system in which a light beam is scanned in two directions across a sample and light scattered from an object is collected using a spatially resolved detector. .. The light beam may illuminate a spot, line or two-dimensional area on the sample. Additional embodiments with applicability to sub-field interferometry systems and other types of interferometry systems are also presented. [Selection diagram]【課題】改善された干渉撮像のシステムおよび方法を提供する。【解決手段】１つの実施形態は、光ビームがサンプルにわたって２つの方向でスキャンされ、物体から散乱した光が空間的分解検出器を使用して集光される部分視野周波数領域干渉撮像システムである。光ビームは、サンプル上のスポット、線または２次元エリアを照明し得る。部分視野干渉法システムおよび他のタイプの干渉法システムに対する適用性を有する追加的な実施形態も提示される。【選択図】 図４
