実質的に円筒形の鏡面反射面の形状を決定するための方法
- 专利权人:
- コーニング インコーポレイテッド
- 发明人:
- ポタペンコ，セルゲイ ワイ
- 申请号：
- JP20160541522
- 公开号：
- JP2017500572(A)
- 申请日:
- 2014.12.16
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 校正データを取得するステップ、及び空間周波数パターンを有する対象構造体に関する対象データを取得するステップを有する、実質的に円筒形の鏡面反射面の形状を決定するための方法。本方法は、鏡面反射面における、対象構造体の反射像を捕捉するステップ、及び反射像から反射データを取得するステップを更に有している。本方法は、対象データと反射データとの対応関係を決定するステップ、及び対応関係及び校正データを用いて、鏡面反射面の形状を決定するステップを更に有している。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
