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Electromagnetic radiation beam scanning system and method
专利权人:
아바바, 인코포레이티드
发明人:
드레서, 챨스, 홀랜드,바왈카르, 제이언트,팅, 조세프
申请号:
KR1020207020135
公开号:
KR1020200098620A
申请日:
2018.12.13
申请国别(地区):
KR
年份:
2020
代理人:
摘要:
An electromagnetic beam scanning system and a method of using the same are provided. This system includes a motor, a reciprocating mechanism and a focusing optics. The motor is configured to generate rotational movement. The reciprocating mechanism is operatively coupled with the motor and is configured to convert the rotational movement into a reciprocating movement comprising a plurality of strokes along the first scan axis. The reciprocating movement has a constant speed over a portion of at least one of the plurality of strokes. The focusing optics are operatively coupled to the reciprocating mechanism so that the focusing optics move and experience the reciprocating movement of the reciprocating mechanism. The focal optics are configured to focus an electromagnetic radiation (EMR) beam incident on the focal optics at a focal point along an optical axis substantially orthogonal to the first scan axis.전자기 빔 스캐닝 시스템 및 해당 사용 방법이 제공된다. 이 시스템은 모터, 왕복 메커니즘 및 초점 광학을 포함한다. 모터는 회전 이동을 발생시키도록 구성된다. 왕복 메커니즘은 모터와 동작 가능하게 결합되고, 회전 이동을 제1 스캔 축을 따라 복수의 스트로크를 포함하는 왕복 이동으로 변환하도록 구성된다. 왕복 이동은 복수의 스트로크 중 적어도 하나의 스트로크의 일부에 걸쳐 일정 속도를 갖는다. 초점 광학은 왕복 메커니즘에 동작 가능하게 결합되어 초점 광학은 이동하고 왕복 메커니즘의 왕복 이동을 경험한다. 초점 광학은 초점 광학에 입사되는 전자기 방사(EMR) 빔을 제1 스캔 축과 실질적으로 직교하는 광학 축을 따르는 초점에 초점을 맞추도록 구성된다.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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