charged particle beam (charged particle beam) does not have the effect of multiple toroidal coil (toroidal coil) using the charged particle beam is determined by measuring the energy is reduced and the object , and using the determined energy start -up the charged particle beam device and a method for reconstructing a tomographic image and a three-dimensional image .하전입자 빔(charged particle beam)에 영향을 미치지 않는 복수의 도넛형 코일(toroidal coil)들을 이용하여, 상기 하전입자 빔이 측정대상물체에 의하여 감소되는 에너지를 결정하고, 상기 결정된 에너지를 이용하여 단층영상 및 3차원 영상을 재구성하는 하전입자 빔 촬영 장치 및 방법을 개시한다.
