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物理・化学センサおよび物理・化学現象センシングデバイスならびにこれらの製造方法
- 专利权人:
- 国立大学法人豊橋技術科学大学
- 发明人:
- 高橋 一浩,小澤 遼,澤田 和明
- 申请号：
- JP20160513828
- 公开号：
- JPWO2015159945(A1)
- 申请日:
- 2015.04.16
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】 可動膜上における反応時間を短縮し得る物理・化学センサおよび物理・化学現象センシングデバイスを提供するとともに、そのための製造方法をも提供する。【解決手段】 物理・化学センサは、ファブリペロー干渉計を形成するとともに、可動膜３の表面に流路形成層４を積層し、中空部４１と、これに接続する流路４２を構成した。物理・化学現象センシングデバイスは、複数の物理・化学センサを備え、検出用センサ１００と、参照用センサ２００とに区分し、異なる流路および中空部によって検体および参照試料を可動膜に供給できるようにした。これらの製造方法は、基板上に犠牲層を積層し、レジストにより流路形成層を構成した後、最後の工程として犠牲層をエッチングする。【選択図】 図１
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
