一种改善48所M42300-1/UM型等离子体刻蚀机刻蚀效果的辅助工艺
- 专利权人:
- 北京中科信电子装备有限公司
- 发明人:
- 曾虎
- 申请号：
- CN201310305888.5
- 公开号：
- CN104299877A
- 申请日:
- 2013.07.18
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2015
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明公开了一种改善48所M42300-1/UM型等离子体刻蚀机刻蚀效果的辅助工艺，涉及48所M42300-1/UM型等离子体刻蚀机，属于太阳能电池制造领域。该工艺步骤包括(1)、关闭自动模式切换手动模式(2)、打开预抽(3)、打开主抽(4)、清洗20min(5)、关闭清洗(6)、关闭主抽(7)、关闭预抽(8)、充气(9)、充气(10)、手动模式切换自动模式。说明书对该工艺工作原理进行了详细的说明，并给出了具体的实施方案。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
