Method of sterilization of a medical device, in particular surgical instrument, placed in a closable airtight container (1), comprising the steps of: placing such medical device inside a closable airtight container (S1); closing the container (S2); placing a Vacuum Ultraviolet Light source (34) against a window (9) of said container (S3), wherein such window (9) is transparent to Vacuum Ultraviolet light and to UVC and/or Middle Ultraviolet light; irradiating a volume inside such closed container (36) with Vacuum Ultraviolet Light through such window (9) in order to generate ozone and/or ozonites within such volume (S4); removing the Vacuum Ultraviolet Light source (S5); and waiting for an incubation time (S6).La présente invention concerne un procédé de stérilisation d'un dispositif médical, en particulier d'un instrument chirurgical, placé dans un récipient étanche à l'air pouvant être fermé (1), comprenant les étapes de : placement d'un tel dispositif médical à l'intérieur d'un récipient étanche à l'air pouvant être fermé (S1) ; fermeture du récipient (S2) ; placement d'une source de lumière ultraviolette sous vide (34) contre une fenêtre (9) dudit récipient (S3), une telle fenêtre étant transparente (9) à la lumière ultraviolette sous vide et à la lumière UVC et/ou ultraviolette moyenne ; irradiation d'un volume à l'intérieur dudit récipient fermé (36) avec une lumière ultraviolette sous vide à travers une telle fenêtre (9) afin de générer de l'ozone et/ou des ozonites dans un tel volume (S4) ; retrait de la source de lumière ultraviolette sous vide (S5) ; et attente pendant un temps d'incubation (S6).