一种单晶硅片的清洗装置
- 专利权人:
- 福建鑫隆光伏科技有限公司
- 发明人:
- 李秀春
- 申请号：
- CN201720631284.3
- 公开号：
- CN206838634U
- 申请日:
- 2017.06.02
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 本实用新型公开了一种单晶硅片的清洗装置,包括底座和U型框,所述底座上端固定连接U型框的一端,所述U型框的一侧壁贯通插接有进水管的一端,U型框的另一侧壁贯通插接有出水管的一端,此单晶硅片的清洗装置结构简单,通过加入紫外线灯、电阻丝和凸轮的组合结构,利用紫外线灯的旋转照射,对单晶硅片进行灭菌,再利用凸轮的偏心转而引起的震动,加深乙醇溶液与单晶硅片之间的接触,加大清洗力度,最后利用电阻丝对乙醇溶液进行加热,使有机杂质分子更易融进乙醇溶液,进一步加大了清洁效果,同时,利用紫外线灯、电阻丝和风机,对单晶硅片起到烘干、灭菌的作用,实现清洁、干燥的一体化设置。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
