基于压电悬臂梁的呼吸检测传感器及其检测方法
- 专利权人:
- 浙江大学
- 发明人:
- 谢金,管扬扬,乐先浩
- 申请号:
- CN201811557934.X
- 公开号:
- CN109717872A
- 申请日:
- 2018.19.12
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2019
- 代理人:
- 摘要:
- 本发明公开了一种基于压电悬臂梁的呼吸检测传感器,包括支撑层和悬臂,所述悬臂梁一端为固定端,固定于所述支撑层,另一端为自由端;悬臂梁靠近固定端的部分具有压电层,靠近自由端的部分具有湿敏层。所述压电层的上下两侧分别与一电极相连,用于信号输入和输出。湿敏层在快速吸水、脱水过程中引起悬臂梁等效质量的改变,从而改变悬臂梁的谐振频率。本发明提出了以频率为输出信号的呼吸检测传感器,检测呼吸过程中气体湿度变化,采用闭环振荡电路实时跟踪悬臂梁的谐振频率,从而满足呼吸检测的快速性与准确性的要求。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心