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包括悬空固定的吸收膜的热电磁辐射探测器
专利权人:
原子能委员会;ULIS公司
发明人:
让-杰奎斯·扬,阿斯特里德·阿斯蒂尔,米歇尔·维莱恩
申请号:
CN200510103860.9
公开号:
CN1749713A
申请日:
2005.09.16
申请国别(地区):
中国
年份:
2006
代理人:
陶凤波`侯宇
摘要:
探测器的吸收膜(1)通过至少一个绝热支撑部件(5ab)悬空固定在衬底的前面上,该衬底(2)包括至少两个例如通过导电层(9)电连接到膜(1)的电连接端子(3)。支撑部件(5ab)具有至少一个基底端(6)和凸起区(7)。基底端(6)固定在导电柱(8)的顶部分上,该导电柱具有牢固地固定到电连接端子(3)之一的基底。膜(1)底面的基本平坦区直接与支撑部件(5ab)的凸起区(7)接触。支撑部件(5ab)优选由具有固定在第二柱(8)的顶部分的第二基底端(6)的桥接件组成,通过桥接件的平坦的中间部分形成凸起区(7)。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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