PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a surface shape sensor capable of detecting surface irregularities of a specimen with high sensitivity, while preventing infiltration of water, and to provide its manufacturing method.SOLUTION: This surface shape sensor has a silicon substrate 10, an interlayer insulation film 40 formed over the silicon substrate 10 a first moisture barrier insulating film 41 formed on the interlayer insulating film 40 a detection electrode film 44a formed on a first moisture barrier insulating film 41 a second moisture barrier insulating film 51 formed on the detection electrode film 44a and a protective insulating film 55, formed on the second moisture barrier insulating film 51 and is equipped with a window 55a on the detection electrode film 44a.COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT【課題】水分の侵入を防止しながら、被検体の表面の凹凸を感度良く検出することが可能な表面形状センサとその製造方法を提供すること。【解決手段】シリコン基板10と、シリコン基板10の上方に形成された層間絶縁膜40と、層間絶縁膜40の上に形成された第1水分バリア絶縁膜41と、第1水分バリア絶縁膜41の上に形成された検出電極膜44aと、検出電極膜44aの上に形成された第2水分バリア絶縁膜51と、第2水分バリア絶縁膜51の上に形成され、検出電極膜44aの上に窓55aを備えた保護絶縁膜55とを有する表面形状センサによる。【選択図】図21
