A system for use in inspection of a sample is described, the system comprises: an illumination unit configured to provide coherent illumination comprising a plurality of at least two wavelengths and direct said coherent illumination onto an inspection region of a sample； and a collection unit comprising at least one detector array and configured for collecting light returning from said inspection region and generate data indicative of speckle patterns in said plurality of at least two wavelengths at a predetermined sampling rate. wherein said illumination unit is configured for directing light components of said at least two wavelengths toward corresponding two or more segments of said inspection region, and wherein said data indicative of speckle patterns corresponding with said two or more segments.L'invention concerne un système destiné à être utilisé dans l'inspection d'un échantillon, le système comprenant : une unité d'éclairage conçue pour fournir un éclairage cohérent comprenant une pluralité d'au moins deux longueurs d'onde et pour diriger ledit éclairage cohérent sur une région d'inspection d'un échantillon ； et une unité de collecte comprenant au moins un réseau de détecteurs et conçue pour collecter la lumière revenant de ladite région d'inspection et pour générer des données indicatives de figures de speckle dans ladite pluralité d'au moins deux longueurs d'onde à un taux d'échantillonnage prédéfini. Ladite unité d'éclairage est conçue pour diriger des composantes de lumière desdites au moins deux longueurs d'onde vers au moins deux segments correspondants de ladite région d'inspection, et lesdites données indiquent des figures de speckle correspondant auxdits deux segments ou plus.
