FOESEL, Matthias,DONITZKY, Christof,VOGLER, Klaus,KITTELMANN, Olaf
申请号：
EPEP2014/060565
公开号：
WO2015/176759A1
申请日:
2014.05.22
申请国别(地区):
WO
年份:
2015
代理人:
摘要：
A method for energy setting of pulsed, focused laser radiation is provided. In the method, a relationship between a threshold pulse energy required for causing irreversible damage in a material and a pulse duration is established. The relationship allows to obtain a threshold pulse energy for each of a plurality of pulse durations including one or more pulse durations in a range between 200 fs and smaller. The relationship defines a decreasing threshold pulse energy for a decreasing pulse duration in the range between 200 fs and smaller. For a given pulse duration in the range between 200 fs and smaller, an associated threshold pulse energy is determined based on the established relationship. The pulse energy of the laser radiation is set based on the determined associated threshold pulse energy. In certain embodiments, the relationship represents a decrease of the threshold pulse energy substantially as a function of the cubic root of the pulse duration.Linvention concerne un procédé pour régler lénergie de rayonnement laser focalisé et à impulsions Dans le procédé, une relation entre une énergie dimpulsion seuil, nécessaire pour causer un dommage irréversible dans un matériau, et une durée dimpulsion est établie. La relation permet dobtenir une énergie dimpulsion seuil pour chacune dune pluralité de durées dimpulsion comprenant une ou plusieurs durées dimpulsion dans une plage comprise entre 200 fs et moins. La relation définit une réduction dénergie dimpulsion seuil pour une réduction de la durée dimpulsion dans la plage comprise entre 200 fs et moins. Pour une durée dimpulsion donnée dans la plage comprise entre 200 fs et moins, une énergie dimpulsion seuil associée est déterminée sur la base de la relation établie. Lénergie dimpulsion du rayonnement laser est définie sur la base de lénergie dimpulsion seuil associée déterminée. Dans certains modes de réalisation, la relation représente une réduction de lénergie dimpulsion seuil sensiblement en fonction de la ra
