硅微针结构及制造方法
- 专利权人:
- 发明人:
- 盖尔·阿德玛蒂,约塔姆·莱文,约夫·哈米沙
- 申请号：
- CN202210804823.4
- 公开号：
- CN115671525A
- 申请日:
- 2022.07.08
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2023
- 代理人:
- 摘要：
- 本申请提供了一种硅微针结构及制造方法，其中，硅微针结构具有从衬底(100)的主表面(102)突出的一个或多个微针(104)。微针具有在直立表面(108)和对应于(111)晶体平面的倾斜表面(110)之间的交接处形成的穿透尖端(106)。微针具有由直立表面(108)和倾斜表面(110)的连续所界定的扩展部分，以及由直立表面和切平面(112)的连续所界定的恒定截面部分，其中切平面(112)从倾斜表面(110)的边缘(114)朝向并垂直于衬底的主表面(102)延伸。倾斜表面(110)的宽度W从穿透尖端(106)到边缘(114)单调地增加。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
