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利用低损耗装料检测的解冻设备及其操作方法
- 专利权人:
- 恩智浦美国有限公司
- 发明人:
- 贾米森·迈克尔·麦卡维尔,利昂内尔·蒙然,皮埃里·马里·让·皮埃尔,陈华雄
- 申请号：
- CN201910873207.2
- 公开号：
- CN110602816A
- 申请日:
- 2019.12.09
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2019
- 代理人:
- 摘要：
- 一种系统包括射频(RF)信号源,所述RF信号源被配置成供应RF信号。电极耦合到所述RF信号源,并且传输路径在所述RF信号源与所述电极之间。所述传输路径被配置成将所述RF信号从所述RF信号源传送到所述电极以使所述电极将RF电磁能辐射到腔室中。功率检测电路系统耦合到所述传输路径并且被配置成反复地测量RF功率值,所述RF功率值包括沿着所述传输路径的前向RF功率值和反射RF功率值中的至少一个功率值。控制器被配置成基于所述RF功率值的改变速率而确定所述腔室中的装料为低损耗装料,并且使所述RF信号源供应具有一个或多个所要信号参数的所述RF信号。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
