PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical measurement device and optical measurement method that are excellent in performance.SOLUTION: An optical measurement device according to the present invention comprises: a light source that generates radiation mean； a first beam splitter that splits the radiation beam into a compensation beam and a measurement beam, and guides the measurement beam to a target； a second beam splitter that re-directs the compensation beam from the first beam splitter； a first optical detector that detects the compensation beam redirected from the second beam splitter, in which characteristics about parts of the first beam splitter and the second beam splitter are the same； and a second beam splitter that detects the measurement beam reflected from the target, and the measurement beam redirected from the first beam splitter.SELECTED DRAWING: Figure 6A【課題】本発明は、性能に優れた光学計測デバイス及び光学計測方法を提供することを目的とする。【解決手段】本発明に係る光学計測デバイスは、放射光線を生成する光源と、放射光線を補償光線と計測光線とに分割し、計測光線をターゲットに導く第一ビームスプリッターと、前記補償光線を前記第一ビームスプリッターからリダイレクトする第二ビームスプリッターと、前記第一ビームスプリッター及び前記第二ビームスプリッターの部分の波長に関する特性が同じであり、前記第二ビームスプリッターからリダイレクトされた前記補償光線を検出する第一光検出器と、前記ターゲットから反射された前記計測光線及び前記第一ビームスプリッターによってリダイレクトされた前記計測光線を検出する第二光検出器と、を備える。【選択図】図６Ａ
