PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an imaging apparatus capable of completing the adjustment of an imaging condition in a short time and determining an optimum imaging condition.SOLUTION: An imaging device that causes a light from a light source 11 to enter a target object E and captures an image of the target object E on the basis of a light reflected by the target object E includes: a first imaging mode in which the measurement light is scanned two-dimensionally and is caused to enter the target object E to capture an image of the target object E； and a second imaging made in which the measurement light is scanned two-dimensionally and is caused to enter the target object E to capture an image of the target object E. An amount of time required for a two-dimensional scan in the second imaging mode is smaller than an amount of time required for a two-dimensional scan in the first imaging mode. On the basis of the image captured by the second imaging mode, adjustment of an imaging condition required for capturing an image by the first imaging mode is made, and then capturing of an image is executed by the first imaging mode. The two-dimensional scan in the first imaging mode is a raster can, and the two-dimensional scan in the second imaging mode is a scan that has thinned the raster scan in the first imaging mode.SELECTED DRAWING: Figure 4COPYRIGHT: (C)2020,JPO&INPIT【課題】 短時間で撮影条件の調整を完了させて最適な撮影条件を決定することができる撮影装置を提供する。【解決手段】本発明の撮影装置は、光源１１からの光を測定光として対象物体Ｅに入射させ、対象物体Ｅで反射された光に基づき対象物体Ｅの像を撮影する撮影装置であって、測定光を二次元走査して対象物体Ｅに入射させ、対象物体Ｅの像を撮影する第１撮影モードと、測定光を二次元走査して対象物体Ｅに入射させ、対象物体Ｅの像を撮影する第２撮影モードとを備える。第２撮影モードにおける二次元走査に要する時間は第１撮影モードにおける二次元走査に要する時間よりも短く、第２撮影モードで撮影された像に基づいて、第１撮影モードで像の撮影をするために必要な撮影条件の調整を行った後、第１撮影モードで像の撮影が行われる。第１撮影モードにおける二次元走査がラスタ走査であり、第２撮影モードにおける二次元走査が、第１撮影モードにおけるラスタ走査を間引きした走査である。【選択図】 図４
